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本发明公开了一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法。抛光方法基于抛光设备实现，抛光设备包括：相对且间隔设置的上抛光盘和下抛光盘；至少一个游轮片，位于上抛光盘与下抛光盘之间，每个游轮片设有多个通孔，每个通孔适于容纳一个非规则碲锌镉晶片；驱动装置，用于控制游轮片运动；调节装置，用于调节上、下抛光盘对非规则碲锌镉晶片的压力；抛光方法包括：在上抛光盘朝向下抛光盘的一侧固定上抛光布，在下抛光盘朝向上抛光盘的一侧固定下抛光布；将经过研磨工艺后的多个待抛光非规则碲锌镉晶片依次放置于游轮片的通孔内；在上、下抛光布上喷洒
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112372377 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202011190271.X B24B 29/02 (2006.01)
(22)申请日 2020.10
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