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一种基于霍尔元件的三维柔性力传感器及其制备方法.pdfVIP

一种基于霍尔元件的三维柔性力传感器及其制备方法.pdf

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    本发明属于柔性传感器相关技术领域，其公开了一种基于霍尔元件的三维柔性力传感器及其制备方法，所述传感器包括基底层、霍尔元件、柔性支架及永磁体，所述柔性支架及所述霍尔元件分别设置在所述基底层上，且所述霍尔元件位于所述柔性支架与所述基底层所形成的收容空间内；所述永磁体被包覆在所述柔性支架远离所述基底层的一端内；所述柔性支架包括四个支撑柱及包覆体，所述支撑柱包括相连接的直线段及弧形段，所述直线段垂直连接于所述基底层，所述弧形段连接于所述包覆体；所述永磁体包覆在所述包覆体内。本发明提高了线性度、稳定性及准

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112345146 B (45)授权公告日 2021.12.31 (21)申请号 202011149524.9 H01L 43/06 (2006.01) (22)申请日

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