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本发明公开了一种大口径偏振移相菲索干涉仪偏振像差的相位补偿方法,该方法使用的模块包括:相干光源模块、菲索干涉模块、偏振移相模块。具体步骤为:相干光源模块产生一对正交线偏振光,进入菲索干涉模块;两束光经过1/4波片,形成一对正交圆偏振光,在参考镜与测试镜的表面反射后,通过偏振像差建模的波片模型,其组合光为椭圆偏振光,进入偏振移相模块;组合光经过成像透镜与微偏振阵列在CCD相机的靶面成像,得到一组关于干涉光强的偏振移相干涉图,根据偏振像差产生的相位延迟与干涉光强之间的关系式,借助偏振移相干涉图求解该
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112378346 B
(45)授权公告日 2022.03.15
(21)申请号 202011199748.0 CN 108195849 A,2018.06.22
(22)
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