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2023-05-28 发布于四川
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一种硒化锌靶材及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种硒化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112342507 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202010952896.9 (22)申请日 2020.09.11 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司

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