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本发明涉及一种用于区熔法制备单晶硅的加热线圈,包括线圈主体和线圈冷却水管,线圈冷却水管嵌入线圈主体内,线圈主体为平板单匝结构,线圈主体的上表面设有向线圈内部凹陷的台阶Ⅰ,在台阶Ⅰ底部与线圈主体内圆上边缘之间设置上斜面;在线圈主体下表面设置向线圈内部凹陷的台阶Ⅱ;在台阶Ⅱ底部与线圈主体内圆下边缘之间设置上斜面;在线圈主体内圆下表面处,设置一圈圆弧凸起;在线圈主体内圆处开有四个贯通上下表面的十字狭缝,在线圈主体外圆沿狭缝Ⅰ方向的一侧设置连接电极的法兰,在法兰与狭缝Ⅰ间设置一条主缝,主缝宽度逐渐减小延
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112359411 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011426075.8
(22)申请日 2020.12.09
(71)申请人 中国
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