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本申请公开一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室，所公开的散热装置(100)中，散热本体(110)用于与加热管(200)的基座(210)可拆卸连接，且导热相连，散热本体(110)内设有流体通道，流体流入部(120)和流体流出部(130)均与流体通道连通，调节阀(140)设置于流体流入部(120)上，温度测量器(160)设置于散热本体(110)与基座(210)的固定连接处，用于测量基座(210)的温度，且温度测量器(160)与温控器(150)的输入端电连接，调节阀(140)与温控器(150)的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112342615 B
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202011167179.1 C30B 25/16 (2006.01)
(22)申请日
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