一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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一种缓冲腔、晶圆传送系统及其工作方法，缓冲腔包括：位于第一缓冲腔室主体中的若干层第一冷却盘，第一冷却盘包括第一晶圆接触区；位于第一晶圆接触区侧部且贯穿第一冷却盘的第一位移口；第一升降单元，第一升降单元包括位于第一支撑组件，第一支撑组件适于支撑晶圆的边缘，第一支撑组件适于在第一位移口的上方、第一位移口中、以及第一位移口的下方做往复运动；贯穿底层的第一冷却盘的第一探测通道；第一温度探测装置，第一温度探测装置朝向所述第一探测通道或者延伸至第一探测通道中。所述缓冲腔能够对晶圆的冷却降温过程进行监视和实时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112349633 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011283475.8 (22)申请日 2020.11.17 (71)申请人上海谙邦半导体设备有限公司

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