一种高纯石墨坩埚的制备方法.pdfVIP

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本发明公开了一种高纯石墨坩埚的制备方法,包括以下步骤:S1.取待提纯石墨坩埚,于2800℃以上,且真空条件下,进行高温提纯反应;S2.采用纯化气体A,于温度Ⅰ条件下,进行气热提纯Ⅰ反应;S3.采用纯化气体A和纯化气体B,于温度Ⅱ条件下,进行气热提纯Ⅱ反应;S4.采用纯化气体A和纯化气体B,于温度Ⅲ条件下,进行气热提纯Ⅲ反应,得到高纯石墨坩埚。本发明采用先进行高温提纯处理,然后再进行分阶段气热提纯处理的方法,使石墨坩埚达到较高的纯度,灰分和关键杂质含量都可以控制在一定范围内,采用该石墨坩埚制备的碳

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112340726 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011294418.X (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 湖南

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