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本发明涉及半导体封装领域，公开了一种可自锁的基板抽检装置。本发明的基板抽检装置，包括：料盒、抽检治具和锁止机构，抽检治具包括：左侧板、右侧板、后侧板和底侧板，左侧板、右侧板、后侧板和底侧板形成接纳基板的容纳空间，锁止机构呈镜像对称的设置在抽检治具的前端，包括：转轴、挡条和弹簧，挡条通过转轴可转动的设置在抽检治具上，弹簧设置在底侧板与挡条之间。本发明的基板抽检装置，抽检治具与料盒连接时，挡条呈水平状态，使料盒的放置槽与抽检治具的容纳空间相连通，方便基板的取出或放入；抽检治具在与料盒分离后，弹簧推动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112349632 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202011222459.8
(22)申请日 2020.11.05
(71)申请人 紫光宏茂微电子（上海）有限公司
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