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本发明公开了一种铌合金表面高温抗氧化硅化物涂层及其制备方法。包括铌合金基体、类金刚石颗粒增强HfCx阻挡扩散层、(Moy,Nb1‑y)Si2涂层;所述类金刚石颗粒增强HfCx阻挡扩散层通过离子束辅助磁控溅射方法制备、所述(Moy,Nb1‑y)Si2涂层通过非平衡磁控溅射方法制备。通过本发明方法制备得到了优异力学性能以及高温抗氧化性能的硅化物涂层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112342515 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202011124430.6
(22)申请日 2020.10.20
(71)申请人 广州市豪越新能源设备有
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