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一种调谐激光器芯片，包括：后向光栅区(1)、第一增益区(2)、微环谐振腔(c)及前向光栅区(5)；所述微环谐振腔(c)包括依次环形连接的第二增益区(3)、第一多模干涉波导(6)、调相区(4)及第二多模干涉波导(7)；所述后向光栅区(1)连接至所述第一增益区(2)，所述第一增益区(2)连接至所述第一多模干涉波导(6)，所述前向光栅区(5)连接至所述第二多模干涉波导(7)；其中，所述后向光栅区(1)与所述前向光栅区(5)构成布拉格反射谐振腔，所述第二增益区(3)与所述调相区(4)构成增益谐振腔。该激
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112366517 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202011250258.9 H01S 5/125 (2006.01)
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