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本发明公开了一种用于扫描电子显微镜中的真空四轴运动平台结构，该用于扫描电子显微镜中的真空四轴运动平台结构即能使得旋转台上的样品托在X轴、Y轴和Z轴上的运动，又能使得样品托随旋转台进行360度旋转，实现待测样品的多维度快速移动，行程开关的设计使得运动更加精准可控。总之，该用于扫描电子显微镜中的真空四轴运动平台结构结构设计科学合理，能够快速可靠定位样品托上的样品，重复定位精度高，整体机构紧凑，样品在X、Y、Z三轴直线行程距离长，品托上可装大尺寸样品，方便装卸，可靠性高且能适用于场发射电镜等高真空环境
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112362680 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011395818.X
(22)申请日 2020.12.03
(71)申请人 无锡量子感知研究所
地
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