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本发明提供一种蒸发源装置及蒸镀设备，蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括顶部、底部以及连接所述顶部和所述底部的侧部，所述顶部设有开口；第一加热组件，设置于所述坩埚的周侧；第一冷却组件，设置于所述第一加热组件靠近所述坩埚的一侧；其中，所述第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个所述冷却单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。本发明可以解决现有技术中因蒸发源装置内的有机材料受到过多非必要的加热而发生降解、变性等问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112376018 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011186550.9
(22)申请日 2020.10.29
(71)申请人 云谷（固安）科技有限公司
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