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2023-05-28 发布于四川
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一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法.pdf

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本发明公开一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法，该检测系统包括：石墨舟输送模块、激光测量模块、分析处理模块和控制模块；控制模块和分析处理模块均设于工控机上，控制模块与激光测量模块通信连接；石墨舟输送模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；分析处理模块对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果。本发明采用全自动化生产，加设激光测量模块和分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112344872 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011375499.6 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人深圳市艾特自动化有限公司

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