- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明属于光学薄膜技术领域,公开了一种低应力低吸收氧化物薄膜的制备方法,通过采用双离子束溅射沉积技术,以钽靶和二氧化硅靶作为溅射靶材,通过选择合适的双离子束溅射制备工艺参数,可实现应力为‑120MPa、吸收损耗为8ppm的Ta2O5薄膜和应力为‑80MPa、吸收损耗为4ppm的SiO2薄膜的制备。结果表明,本发明方法将获得具有低应力低吸收的氧化物薄膜,对于设计和制备高性能宽谱段多层薄膜具有重要的意义。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112342506 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202010947436.7
(22)申请日 2020.09.10
(71)申请人 天津
您可能关注的文档
- 一种钽合金、钽合金无缝管制备方法及钽合金无缝管.pdf
- 一种羌活饮片的炮制方法.pdf
- 一种料线清理机构.pdf
- 一种集路灯调光与气象数据采集一体的智慧路灯控制器.pdf
- 一种基于数值模拟的聚表二元驱影响因素评价方法.pdf
- 一种任意运动组网雷达的空间时间配准方法.pdf
- 码本子集限制信令.pdf
- 一种从DMAC媒介中萃取4,4′-二氨基二苯醚的方法及系统.pdf
- 基于U-Net深度网络模型的CT影像中肾肿瘤智能分割方法及装置.pdf
- 一种耐高温、耐磨损、防腐蚀的新型纳米陶瓷节能涂料的制备方法和应用.pdf
- 《第一单元小小工程师》(教学设计)-2023-2024学年六年级科学下册 教科版.docx
- 桂教版七年级音乐上册器乐训练《竖笛练习曲》教学设计.docx
- 赓续垦荒志 激扬青春梦 教学设计-2023-2024学年中职下学期主题班会.docx
- 《第六至第七章章末训练题》同步练习(分层练习教学设计)2023-2024学年湘教版地理七年级下册.docx
- 28.2.2 应用举例(2)教学设计 2023—2024学年人教版数学九年级下册.docx
- 《一起来分类》(教学设计)-2024-2025学年一年级上册数学北师大版.docx
- 第2单元第4课《动物的力量--认识高效运算的函数》-教学设计2023—2024学年清华大学版(2012)初中信息技术七年级下册.docx
- 4.2.2两角和与差的正弦、正切公式及其应用教学设计-2023-2024学年高一下学期数学北师大版(2019)必修第二册.docx
- 2.5 青铜器与甲骨文 教学设计 2023--2024学年部编版历史七年级上册.docx
- 《祝福》教学设计 2023—2024学年高教版(2023)中职语文基础模块下册.docx
文档评论(0)