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本申请公开了一种高对比度光栅垂直腔面发射激光器及制造方法,高对比度光栅垂直腔面发射激光器,包括层叠设置的第一反射器层、有源层、第二反射器层和光栅层;所述光栅层具有光栅槽,所述光栅槽自所述光栅层背离所述有源层一侧,至少延伸至所述光栅层的内部。光栅槽至少延伸至光栅层的内部,也即光栅槽的深度可以在光栅层至第二反射器层内部之间均可,因此提高了制作的容忍度。在光栅槽刻蚀深度较浅时,其所用的刻蚀时间较短,可以提高生产效率,不同深度光栅槽对应的VCSEL参数不同,由于光栅槽刻蚀深度的多样性,相应地扩大了光栅以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112366519 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011265127.8
(22)申请日 2020.11.12
(71)申请人 深圳博升光电科技有限公司
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