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一种辐射粒子探测器器件结构,涉及微电子技术和半导体技术。本发明的辐射粒子探测器器件结构在p型硅衬底表面设置有掺杂区,导电沟道和STI区,其中绝缘的STI区将导电沟道隔离开。本发明解决的技术问题是:提供一种辐射粒子探测器器件结构,在未受到辐照时,器件不导通,没有电流流过。在受到一定剂量的辐照后,STI区内产生大量正电荷,在STI与硅衬底交界面附近感应出一圈反型层,作为导电沟道,器件导通。本发明中的器件工作在p阱中,与其他器件隔离,且兼容CMOS工艺,可集成度高,可用于在太空空间中探测辐照。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112366246 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011242677.8
(22)申请日 2020.11.09
(71)申请人 电子科技大学
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