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一种碲锌镉探测器的器件结构及其制备工艺.pdfVIP

一种碲锌镉探测器的器件结构及其制备工艺.pdf

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    一种碲锌镉探测器的器件结构，包括有：由CZT及Si构成的复合晶体；设于复合晶体两端的电极及设于复合晶体侧壁的弗里希栅极；一种碲锌镉探测器的制备工艺，针对此结构的探测器进行。形成依次的：硅片预处理、碲锌镉表面处理、单晶硅与碲锌镉进行低温键合、电极制备、表面钝化、弗里希栅制备工序。本发明的一种碲锌镉探测器的器件结构及其制备工艺，从结构本身的设置及工艺方面，在着重探测器的探测效率及能量分辨率基础上，兼顾考量漏电流问题及键合问题，最终形成漏电流小、系统的信噪比高、构成探测器的复合晶体内部键合强度高的一种

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112349797 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011093126.X (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人 上海

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