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本发明公开了一种低电容的垂直腔面发射激光器，包括衬底、外延层、第一电极、第二电极和有机聚合物层，其外延层通过绝缘隔离形成器件发光区，第二电极包括环形部和引出部，环形部设于器件发光区之上且内部形成激光器的出光口，引出部由环形部延伸至器件发光区之外，引出部下方的器件发光区之外的外延层设有若干向下延伸的空气柱，有机聚合物层设于引出部和外延层之间。本发明还公开了上述激光器的制作方法。本发明通过在第二电极下方的外延层制作若干孔洞状结构并形成空气柱减小第二电极下方材料的等效介电常数，降低了整体的厚度和表面厚
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112382926 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202011166659.6 (56)对比文件
(22)申请日 2020.10.27
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