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含氮化镓/氧化镓纳米柱阵列的自供电探测器及制备方法.pdfVIP

含氮化镓/氧化镓纳米柱阵列的自供电探测器及制备方法.pdf

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    本发明属于光电探测器的技术领域，具体涉及一种含氮化镓/氧化镓纳米柱阵列的自供电探测器及制备方法。所述探测器的结构为依次排布的电极、柔性衬底、p型氮化镓层、β‑氧化镓纳米柱阵列以及电极，所述填充层包裹β‑氧化镓纳米柱阵列的侧面，用于填充β‑氧化镓纳米柱阵列，所述β‑氧化镓纳米柱阵列以及电极之间还包括石墨烯透明电极。本发明以氮化镓/氧化镓纳米柱阵列组成的异质结为器件核心，在氮化镓薄膜上制备氧化镓纳米阵列，氧化镓与氮化镓之间的界面处存在小的晶格失配和低的导带偏移，可以进一步提供高光电探测器的性能，且无

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112382691 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011107111.4 H01L 31/0336 (2006.01)

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