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本发明公开了一种纳米多孔钛合金膜的制备方法,该方法包括:一、将含铝钛合金箔材进行真空热处理;二、依次进行表面酸洗和纯化;三、进行电化学脱合金处理,经清洗和干燥得到多孔钛合金膜粗品;四、进行真空热处理以扩孔得到纳米多孔钛合金膜。本发明利用铝和钛在碱性溶液中电化学电位的不同,通过电化学脱合金处理对含铝钛合金箔材中的铝元素选择性溶解,从而在溶解脱除的铝原来存在的位置处形成直通孔隙,结合热处理扩孔工艺控制孔隙的大小和深度,得到孔隙分布均匀且孔径均一的纳米多孔钛合金膜,满足了微流量控制、过滤分离,气体传感
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112342478 B
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202011233354.2 (56)对比文件
(22)申请日 2020.11.06
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