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本申请涉及晶圆清洗设备领域，尤其是涉及一种晶圆转速检测装置。晶圆转速检测装置包括定座筒体和从动轴，定座筒体的的一端的端盖上开设有安装孔，从动轴通过安装孔伸入到定座筒体内，并通过第一轴承和第二轴承与定座筒体转动连接。定座筒体上在第一轴承和第二轴承之间形成有进气口，从动轴的侧壁上形成有第一流道，第一流道的一端位于第一轴承和第二轴承之间，第一流道的另一端延伸至从动轴与定座筒体的安装孔的内壁相对的侧壁处，从而使进入定座筒体内的气体能够经由第一流道流动至安装孔处，进而将气体经由安装孔与从动轴之间的缝隙导入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112345785 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202011146986.5 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务
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