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本发明涉及一种双光路镜头间距测量系统及其工作方法,包括宽带光源、光学镜头、第一分束器、第二分束器、第一反射镜、第二反射镜、双面反射镜、电动导轨及探测器,电动导轨设于第一反射镜与第二反射镜之间,双面反射镜装在电动导轨;第一分束器将宽带光源发出的光束反射至光学镜头,镜头各反射面反射后的光束经分束器形成两个光路,两个光路经双面反射镜反射;当探测器检测到两个光路的干涉信号且两个光路存在光程差时,电动导轨驱动双面反射镜的移动距离为其他反射面与第一反射面的间距的四分之一,通过测量电动导轨上双面反射镜的移动距
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112362311 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011413884.5
(22)申请日 2020.12.07
(71)申请人 中测光科(福建)技术有限公司
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