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本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种GaN功率器件的结温测试装置及方法。装置包括控制模块、电压产生模块、电流产生模块以及电压测量模块；电压产生模块用于根据控制模块的控制指令输出开启电压至栅极，以使GaN功率器件导通；电流产生模块用于根据控制模块的控制指令，在GaN功率器件导通后输出脉冲电流至源极和漏极之间；电压测量模块连接于源极和漏极的两端，用于根据控制模块的控制指令，测量源漏极两端电压；控制模块用于根据测量到的源漏极两端电压确定GaN功率器件的结温。解决了小电流注入导致的测试电压过低，整体测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112345907 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202011157532.8
(22)申请日 2020.10.26
(71)申请人 中国电子产品可靠性与环境试验研
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