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本发明公开了一种获取静电吸盘图案的方法及晶圆中心的校正方法，其中，所述获取静电吸盘图案的方法，至少包括以下步骤：提供一静电吸盘，所述静电吸盘位于一腔体内，所述静电吸盘上具有图案；向所述腔体内通入等离子气体，以在所述静电吸盘上形成薄膜；通过晶圆粘结所述薄膜，以获取所述图案，所述薄膜上转印有所述图案。本发明能将所述静电吸盘上图案转印出来，进而能精准校正晶圆的中心。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112366166 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011114402.6
(22)申请日 2020.10.19
(71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司
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