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一种MEMS芯片装片用治具.pdfVIP

一种MEMS芯片装片用治具.pdf

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    本发明提供了一种MEMS芯片装片用治具，其固定效果更好，有效防止该MEMS芯片易翘曲、移位，提高了装片的成品率。其包括治具本体，所述治具本体包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于与机台连接的安装部，所述固定部呈中部镂空的矩形框，其特征在于：所述固定部内部设有朝所述固定部镂空位置延伸的压针，所述压针与所述MEMS芯片的线框间隙相对应。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112338832 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011254105.1 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人 无锡红光微电子股份有限公司

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