一种磷化铟衬底的清洗方法.pdfVIP

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本发明提供一种磷化铟衬底的清洗方法,包括以下步骤:(1)将抛光后的磷化铟衬底在a℃的硫酸溶液中浸泡e秒;(2)将步骤(1)处理后的磷化铟衬底在c℃的硫酸溶液中浸泡f秒后去离子水冲洗;(3)将步骤(2)处理后的磷化铟衬底在清洗液中清洗后用去离子水冲洗,所述清洗液包括无机酸、双氧水和水;(4)将步骤(3)处理后的磷化铟衬底用氢氟酸水溶液清洗h秒后用去离子水冲洗;所述氢氟酸水溶液中氟化氢的质量浓度为g%;(5)将步骤(6)处理后的磷化铟衬底用SC1清洗液清洗后用去离子水冲洗。本发明的磷化铟衬底清洗方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112382555 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011264670.6 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人 广东先导先进材料股份有限公司

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