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本发明公开了一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口，所述熔炉口外圈套接固定圈，所述固定圈外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构底端，所述夹持结构包括定位柄,所述定定位柄底端内侧螺栓连接固定圈，所述定位柄顶端固接斜块，所述斜块顶部开有槽腔，所述槽腔顶部螺栓连接限位梁，所述槽腔外侧腔口边缘螺栓连接调距结构。与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明利用楔形滑落的原理，对晶棒进行物理制动，根据受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力与晶棒自身重力对夹持器所产生的正压力达到平衡状态，保证晶棒不会倾斜掉落；克服
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112359410 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011439765.7
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 中环领先半导体材料有限公司
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