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本发明公开了一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器及其制备方法，克服现有制备技术中对设备和原材料要求高、工艺复杂且能耗高的问题，解决TiO2厚膜气敏材料导致的气敏传感器稳定性、一致性差的问题。本发明的技术方案为：一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器的制备方法，利用水溶液法在银叉指电极上原位生长三维分层多级TiO2纳米花薄膜，制备得到一种三维分层多级TiO2纳米花NH3敏传感器。本发明使用原位生长的方法，使得TiO2气敏材料与基底之间具有强结合力，保证气敏元件的长期稳定性和一致性，并
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112345590 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202011059409.2
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 西安工业大学
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