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与用于将膜沉积在晶片上的处理室一起使用的阀组件。阀主体围绕孔腔并包括入口、第一出口和第二出口，出口中的至少一者通向处理室内。活塞包括具有第一流动路径的第一区段和具有第二流动路径的第二区段。线性运动致动器适于与活塞耦合并控制活塞通过孔腔在第一位置和第二位置之间的线性运动。在第一位置中，活塞的第一区段与入口对齐，使得流体经由第一流动路径流至第一出口。在第二位置中，活塞的第二区段与入口对齐，使得流体经由第二流动路径流至第二出口。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112368816 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 201980042137.4 罗伯特 ·拉什 亚伦 ·贝尔克
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