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具有止蚀层的MEMS显示装置.pdfVIP

具有止蚀层的MEMS显示装置.pdf

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    微电子机械系统(MEMS)装置包括：基板；在基板上的电子电路；电连接至电子电路的电极；可移动元件，其中可移动元件通过在电极与可移动元件之间施加电压来控制；在电极与电子电路之间的绝缘层；以及止蚀层。绝缘层具有将电极与电子电路电连接的通孔，并且止蚀层由氮化铝或氧化铝中的至少一种制成。止蚀层可以覆盖电极和电子电路，或者电极可以安装在止蚀层上，并通过通孔经由止蚀层电连接到电子电路。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112368233 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 201980045088.X (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限

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