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本发明涉及半导体存储测试技术领域,尤其涉及一种对阻变随机存储器电导弛豫效应特征参数的提取方法。本方法包括:阻变随机存储器的激活过程;施加多次工作信号使阻变随机存储器达到稳定状态;选取稳定电导值G0;施加激励信号使阻变随机存储器电导值达到G0;对器件进行弛豫测试;继续保持读取脉冲一段时间;再对器件进行随机电报噪声测试;对器件进行擦除操作;进行信号过滤,提取电导弛豫效应特征参数。本发明能够有效、完整地提取阻变随机存储器电导弛豫效应的特征参数,有利于对阻变随机存储器的电导弛豫效应的机理研究以及器件阻态
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112382331 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011164982.X
(22)申请日 2020.10.27
(71)申请人 清华大学
地址 10
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