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激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法.pdfVIP

激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法.pdf

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    本发明具备：激光光学系统(1)，其生成线光束(Lb)；荫罩(2)，其配置在上述激光光学系统(1)的光行进方向下游侧，与在掩模用构件(9)上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗；投影透镜(3)，其将上述荫罩(2)的像投影到上述掩模用构件(9)上；移动机构(4)，其使向上述荫罩(2)上照射的上述线光束(Lb)相对于上述荫罩(2)和上述投影透镜(3)相对地在与上述线光束(Lb)的长轴交叉的方向上移动；以及工作台(5)，其载置并保持上述掩模用构件(9)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112384323 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 201980045262.0 (74)专利代理机构 北京市隆安律师事务所

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