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本申请公开了一种用于硅锭切片的支撑板及其制作方法，支撑板的组成材料包括ABS塑料和SAN塑料，ABS塑料的重量份数为50～100份，SAN塑料的重量份数为0～50份。本申请中的支撑板由热塑性的ABS塑料和SAN塑料制成，支撑板的抗拉强度与弯曲强度提高，减少切割过程中崩边的情况发生，良率提高，且可以降低金刚线的断线几率；在硅片切割过程中无需降低台速，缩短切割时间，提升切割效率且降低切割能耗；并且，不掺任何无机物，可以对切割完毕后的支撑板进行回收得到回料，回料可以制成支撑板的底面回料层，避免固废垃圾
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112372863 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011229958.X
(22)申请日 2020.11.06
(71)申请人 江西中昱新材料科技有限公司
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