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2023-05-28 发布于四川
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一种厚膜深腔混合集成电路的真空汽相清洗治具及方法.pdf

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一种厚膜深腔混合集成电路的真空汽相清洗治具及方法，治具的主体结构为长方体，清洗治具的两个侧架之间通过若干个平行设置的横梁固定连接，横梁分布在清洗治具的上端和下端；治具上方横梁的上表面平齐设置，两个横梁之间设置有支撑条，支撑条的两端固定搭接在清洗治具的两个侧架上，支撑条的上表面和横梁的上表面平齐设置，支撑条上设置有通孔。清洗时先将电路固定在支撑条上，之后固定在清洗腔内，在真空汽相清洗机中加入改性醇进行第一次蒸汽漂洗、浸没清洗、喷淋清洗、第二次蒸汽漂洗和真空烘干，清洗剂完全浸入厚膜深腔混合集成电路的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112366155 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 202011248360.5 (22)申请日 2020.11.10 (71)申请人西安微电子技术研究所

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