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一种OLED显示面板的制备方法及OLED显示面板.pdf

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本发明提供一种OLED显示面板的制备方法及OLED显示面板。所述制备方法包括下列步骤:在第一金属层上制备有机光阻层;采用半色调掩膜版对所述有机光阻层进行曝光显影处理,使所述有机光阻层形成对应像素电极图案的图案化有机光阻层;利用所述图案化有机光阻层,将所述第一金属层未被所述图案化有机光阻层遮蔽的部分刻蚀,形成像素电极;将所述图案化有机光阻层部分灰化,形成像素定义层;采用等离子体工艺处理所述像素定义层的表面以形成疏水层;在所述像素电极上且对应于所述像素定义层的开孔内采用喷墨打印工艺打印发光材料,形成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112420605 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011215784.1 (22)申请日 2020.11.04 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有

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