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本发明涉及一种便于排液的硅片清洗设备,包括:清洗池、两端板,分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆,支撑杆能够上下滑动,且硅片能够插到相邻两夹紧齿之间;清洗池的槽底镜像设置有两排水管,排水管开设有排水槽,且排水管的内侧壁设置有挡块,以及挡块上方设置有一能够升降的堵块,堵块与排水槽适配,在端板沿清洗池池底滑动至安装位后,向下推动底部的支撑杆使得支撑杆按压堵块,堵块下滑至与挡块贴合并与挡块配合堵住排水槽,进而在安装端板的同时实现排水的关闭,在取出端板的同时,打开排水,进而实现对清洗池无接触开闭排
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112387645 B
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202110072080.1 B08B 3/02 (2006.01)
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