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本公开的各实施例涉及利用单个频率来驱动多谐振MEMS镜。控制电路包括第一控制电路，第一控制电路根据预驱动信号(即，第一镜和第二镜的开度角相等的频率)而针对第一镜生成第一驱动控制信号。第二控制电路根据预驱动信号而针对第二镜生成第二驱动控制信号。第一驱动器和第二驱动器根据第一驱动控制信号和第二驱动控制信号，针对第一镜和第二镜生成第一驱动信号和第二驱动信号。第一驱动控制信号和第二驱动控制信号被生成为使得第一驱动信号和第二驱动信号各自具有与预驱动信号相同的频率，但是在振幅上彼此不同，以使得第一镜和第二镜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112399159 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202010814761.6
(22)申请日 2020.08.13
(30)优先权数据
16/540,55
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