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支承单元、包括支承单元的基板处理设备及基板处理方法.pdfVIP

支承单元、包括支承单元的基板处理设备及基板处理方法.pdf

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    本发明概念提供一种用于支承基板的支承单元。该支承单元包括：支承板，其具有内部空间并且该支承板上放置有基板；加热构件，其设置在内部空间中并且加热放置在该支承板上的基板；隔热板，其设置在内部空间中并且安置在该加热构件的下方；反射板，其设置在内部空间中并且安置在该隔热板的下方；以及散热板，其设置在内部空间中并且安置在该反射板的下方。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397418 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202010817359.3 (22)申请日 2020.08.14 (30)优先权数据

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