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具有局部清洗功能的运送装置.pdfVIP

具有局部清洗功能的运送装置.pdf

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    本发明的目的在于低价格地提供一种运送装置(2)，该运送装置不使半导体圆晶(W)的被处理面曝露于氧化性气氛中，可在FOUP(19)和处理装置(3)之间运送半导体圆晶(W)。本发明的运送装置(2)包括：带有气氛置换功能的装载端口(20)；带有气氛置换功能的运送机器人(30)；带有气氛置换功能的对准器(40)；带有气氛置换功能的装载锁定腔(12)，即使在于半导体圆晶移动期间，以及进行定位等的处理期间，仍局部地对半导体圆晶的被处理面进行气氛置换。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424923 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201880095238.3 (74)专利代理机构 北京三幸商标专利事务所

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