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用于线加倍的光刻胶组合物.pdfVIP

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    提供了光刻胶组合物、制造光刻胶组合物的方法以及使用光刻胶组合物的方法。在一个实现方式中，所述光刻胶组合物包含酚醛(酚醛树脂)树脂、重氮萘醌(DNQ)阻溶剂、双(叠氮)交联剂和浇铸溶剂。在一个实现方式中，所述双(叠氮)交联剂在325纳米与400纳米之间的范围中的波长下吸收。在一个实现方式中，所述双(叠氮)交联剂是芳香族双(叠氮)交联剂。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424691 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980046184.6 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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