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本发明公开了一种含有金属硅化物红外吸收层的石墨烯场效应电荷耦合器件,包括栅极、金属硅化物红外吸收层、硅衬底、氧化物绝缘层、源极、漏极和单层石墨烯薄膜;入射光照射到器件表面时,可见光被半导体硅吸收,其产生的少数载流子被积累到硅的深耗尽势阱里;红外光穿过硅层,被金属硅化物与硅形成的异质结所吸收,在电场的作用下,产生的少数载流子被注入到体硅的深耗尽势阱中。当硅中产生光生空穴积累时,器件上层的石墨烯会耦合出与势阱中的空穴对应的等量电子,从而改变石墨烯的电导率,从石墨烯的电流中能够读出硅势阱中的电荷。本发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420809 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011247048.4 H01L 27/148 (2006.01)
(22)申请日
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