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实施方式改善半导体存储装置中的存储单元晶体管的电特性。实施方式的半导体存储装置包含半导体、第1绝缘体、第2绝缘体、第1导电体、第4绝缘体、及第5绝缘体。第1绝缘体与半导体相邻，第2绝缘体与第1绝缘体相邻。第3绝缘体设置在第1导电体之上。第4绝缘体设置在第2绝缘体与第1导电体之间。第5绝缘体设置在第2绝缘体与第3绝缘体之间，具有与第4绝缘体的氧浓度不同的氧浓度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420726 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20201
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