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本申请公开了一种硅基电光调制器,包括依次层叠的衬底层、绝缘层和光波导层,以及设于光波导层上方的行波电极、沿行波电极上电信号传输方向周期性设置的金属栅形结构,该金属栅形结构设于光波导层上方;电信号在周围设有所述金属栅形结构的行波电极上传输的群速度与所述光波导层的光波导内传输的光载波的群速度相匹配。本申请在行波电极周围增加金属栅形结构,一方面使行波电极的电磁波群速度与光载波的群速度相匹配,以提高行波电极的电光匹配度,另一方面屏蔽了行波电极向低阻硅衬底中辐射电磁场,以减小行波电极的微波损耗,有效提升了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112415786 A
(43)申请公布日
2021.02.26
(21)申请号 20191
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