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提供了一种BAW谐振器，其中顶部电极(TE)具有外翼(OF)。翼远离有源谐振器区域(AR)延伸并且具有突出段，该突出段在压电层(PL)上方的层级处延伸，该层级高于外翼所围合的位于内部的区域中的任一位于内部的区域处的顶部电极的层级。较高的层级由中间台阶形成材料(SM)形成，该中间台阶形成材料被布置在压电层与外翼中的顶部电极之间。台阶形成材料包括结构化层，该结构化层具有相对于顶部电极和压电层的阻抗低的声学阻抗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112425073 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201980047322.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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