夹持装置及夹持装置的控制方法.pdfVIP

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本发明公开了一种夹持装置及夹持装置的控制方法,该夹持装置包括第一夹持组件,所述第一夹持组件包括多个第一夹具;第二夹持组件,所述第二夹持组件包括多个第二夹具;驱动件,分别与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件连接;所述驱动件用于分别对所述第一夹具和所述第二夹具进行驱动;控制单元,用于当所述第一夹具的夹持时长大于预设时长时,通过控制所述驱动件使所述第二夹具对所述基板进行夹持;和/或当所述第二夹具的夹持时长大于所述预设时长时,通过控制所述驱动件使所述第一夹具对所述基板进行夹持。本发明的夹持装置及夹持装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410745 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011158800.8 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司

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