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本发明提供一种测量装置和光刻机,所述测量装置用于检测测量光的偏振相差,所述测量装置包括测量主体、波片、偏振片、旋转台和图像采集分析单元,所述旋转台、所述偏振片和所述图像采集分析单元设置在所述测量主体上,所述旋转台用于驱动所述波片旋转,所述测量光经所述波片、所述偏振片后进入所述图像采集分析单元,所述图像采集分析单元用于采集、分析所述测量光并获得偏振相差,所述测量装置还包括冷却组件,所述冷却组件用于吸收所述图像采集分析单元和/或所述旋转台的热量。本发明中的测量装置和光刻机可改善测量装置和光刻机的稳定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112394620 B
(45)授权公告日 2022.04.01
(21)申请号 201910759825.4 G01M 11/02 (2006.01)
(22)申请日
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