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本发明揭示了一种退火腔,包括腔体、进气装置和排气装置,所述进气装置位于腔体的一侧,所述排气装置位于腔体的另一侧,所述腔体内设有冷板和热板,所述进气装置包括扩散腔室和进气板,所述进气板将扩散腔室与腔体隔断,所述扩散腔室设有进气口,所述进气板上设有多个散气孔,所述排气装置上设有多个排气孔。通过在腔体两侧设置进气装置和排气装置,使工艺气体平稳通过进气口先进入一个小的扩散腔室,再经过散气孔进入工艺腔体内,最后通过排气装置将气体抽出,从而使工艺气体平稳均匀的通过工艺腔体,避免气旋现象的出现,提高了退火的质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112420546 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 201910784374.X
(22)申请日 2019.08.23
(71)申请人 盛美半导体设备(上海)股份有限公
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