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提供用于控制处理材料到沉积腔室的流动的方法和设备。在实施方式中,所述设备包括沉积腔室,沉积腔室通过一个或更多个输送管线而与一个或更多个升华器流体连通,其中一个或更多个升华器的每一者包括安瓿以及至少第一热源和第二热源,安瓿通过开口而与一个或更多个输送管线流体连通,其中第一热源为与安瓿相邻的辐射热源,且第二热源与开口相邻,其中一个或更多个输送管线包括在沉积腔室与一个或更多个升华器之间的一个或更多个导管,且其中一个或更多个导管包括一个或更多个阀门,以用于打开或关闭一个或更多个导管,其中处于打开位置的一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112400222 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 201980039537.X 约瑟夫 ·M ·拉内什
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