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一种硅片清洗设备.pdfVIP

一种硅片清洗设备.pdf

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    本发明涉及一种硅片清洗设备，包括：清洗池和花篮主体；花篮主体包括两平行设置的端板，三个齿杆和三个支撑杆，端板位于支撑杆的位置处分别开设有一斜下方延伸的滑动槽，且滑动槽的端部固定连接有与支撑杆接触连接的撑开弹簧；清洗池的两短边内侧壁分别设置有一推块，推块具有一同时与三个支撑杆接触的阶梯形推动面；推块能够推动支撑杆沿滑动槽滑动并压缩撑开弹簧，以使硅片从两夹紧齿之间滑出至与支撑杆接触；硅片上之前被夹紧齿的卡紧位置能够露出，进行清洗，从而提高了整个硅片的清洗效果，在清洗完成后，推块松开支撑杆，支撑杆在撑

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112397423 B (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202110073689.0 (56)对比文件

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